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      高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇

      更新時間:2020-02-25      點擊次數:1112

      高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇

      近20年來,隨著更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產,對高純氣體潔凈度的要求,已不亞于對純度和干燥度的要求,凡工藝氣體,無一不對其中的粒子提出限制。因此,對于高純氣體,純度、干燥度、潔凈度是三項重要的標度。由于高純度氣體的使用地點、性質、工況(如溫度、壓力等)都不*一致,所以,如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度),還沒有一個嚴格而明確的概念。   高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇 主要產品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發|Hitech氧氣分析儀|Hitech熱導氣體分析儀|Hitech氫氣分析儀|露點儀廠家 

      對于純度和干燥度的控制,我國CBJ73—84《潔凈廠房設計規范》中指出,“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm氣體。”日本把微電子生產中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個不同的檔次: 

      1.超高純氣體    氣體中雜質總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。
      2.高純氣體       氣體中雜質總含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以內。
      3.潔凈氣體      氣體中雜質總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴格規定。 高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇 

        上述規定,都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產,幾乎都是在潔凈環境中進行,是防止塵埃粒子污染微電子產品所必需的。所以,對潔凈的生產環境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞,必須使氣體的潔凈度與潔凈環境保持一致,根據相關資料以及近些年公司相關工程的經驗進行了一些歸納。

      英國SHAW在線露點儀Superdew3 

      1. 量程可選如下:` 

       SUPER-DEW3 -R    紅點(R):   -80~-20℃ 

       SUPER-DEW3 -P    紫點(P):   -100~0℃ 

       SUPER-DEW3 -G   灰點(G):   -80~0℃ 

       SUPER-DEW3 -Y   黃點(Y):   -60~0℃高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇 

       SUPER-DEW3 -RS    銀點(S):   -100~-20℃ 

      2、英國SHAW在線露點儀Superdew3特性:  

      ★ 在線測定各種氣體的露點溫度 

      ★ 干燥氣體時的保證精度為1PPM 

      ★ 室內空氣中一分鐘自動校準 

      ★ 大型背光式液晶數字顯示 

      ★ 標準的4~20MA或0~1號輸出 

      技術參數 

      二次表:(SuperDew) 

      ★ 顯示精度:1% 

      ★ 安裝類型:面板安裝, 開口尺寸:135mmx66mmx175mm(深) 

      ★ 顯示:3 1/2位帶背光的數字顯示 

      ★ 供電:220V AC @50Hz 

      ★ 輸出:4-20mA標準信號輸出, 兩路繼電器高低報警輸出240V @3A 

      ★ 校準:在空氣中自動校準 

      ★ 可任意調節的高低報警輸出 

      ★ 傳感器到儀表之間的距離可達1千米 

      ★ ISO 9002質量控制高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇 

      ★ 可選量程:-100℃~0℃/-80℃~0℃ 

      3.測量精度:+/-3℃ 

      4.樣氣壓力:1~30psi,本傳感器可耐壓到200Bar 

      5.樣氣流量:1~5升/分鐘,建議1升/分鐘 

      6.氣路連接:1/4”或 1/8”卡套接頭 

      7.防    爆:傳感器本安防爆,增加隔離柵選件可組成防爆檢測系統 

      更多高純/特種氣體的概念及供氣系統及進口便攜式露點儀品牌的選擇信息請致電英肖儀器儀表(上海)有限公司

      英肖儀器儀表(上海)有限公司
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