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      高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇

      更新時間:2020-02-25      點擊次數(shù):1113

      高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇

      近20年來,隨著更復(fù)雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn),對高純氣體潔凈度的要求,已不亞于對純度和干燥度的要求,凡工藝氣體,無一不對其中的粒子提出限制。因此,對于高純氣體,純度、干燥度、潔凈度是三項重要的標(biāo)度。由于高純度氣體的使用地點、性質(zhì)、工況(如溫度、壓力等)都不*一致,所以,如何確定高純氣體的“三度”(純度、干燥度、潔凈度),還沒有一個嚴(yán)格而明確的概念。   高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇 主要產(chǎn)品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發(fā)|Hitech氧氣分析儀|Hitech熱導(dǎo)氣體分析儀|Hitech氫氣分析儀|露點儀廠家 

      對于純度和干燥度的控制,我國CBJ73—84《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中指出,“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%,含水量小于5ppm氣體。”日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體,按其不同的品位,具體分為下列幾個不同的檔次: 

      1.超高純氣體    氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。
      2.高純氣體       氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。
      3.潔凈氣體      氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇 

        上述規(guī)定,都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn),幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行,是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以,對潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞,必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致,根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗進(jìn)行了一些歸納。

      英國SHAW在線露點儀Superdew3 

      1. 量程可選如下:` 

       SUPER-DEW3 -R    紅點(R):   -80~-20℃ 

       SUPER-DEW3 -P    紫點(P):   -100~0℃ 

       SUPER-DEW3 -G   灰點(G):   -80~0℃ 

       SUPER-DEW3 -Y   黃點(Y):   -60~0℃高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇 

       SUPER-DEW3 -RS    銀點(S):   -100~-20℃ 

      2、英國SHAW在線露點儀Superdew3特性:  

      ★ 在線測定各種氣體的露點溫度 

      ★ 干燥氣體時的保證精度為1PPM 

      ★ 室內(nèi)空氣中一分鐘自動校準(zhǔn) 

      ★ 大型背光式液晶數(shù)字顯示 

      ★ 標(biāo)準(zhǔn)的4~20MA或0~1號輸出 

      技術(shù)參數(shù) 

      二次表:(SuperDew) 

      ★ 顯示精度:1% 

      ★ 安裝類型:面板安裝, 開口尺寸:135mmx66mmx175mm(深) 

      ★ 顯示:3 1/2位帶背光的數(shù)字顯示 

      ★ 供電:220V AC @50Hz 

      ★ 輸出:4-20mA標(biāo)準(zhǔn)信號輸出, 兩路繼電器高低報警輸出240V @3A 

      ★ 校準(zhǔn):在空氣中自動校準(zhǔn) 

      ★ 可任意調(diào)節(jié)的高低報警輸出 

      ★ 傳感器到儀表之間的距離可達(dá)1千米 

      ★ ISO 9002質(zhì)量控制高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇 

      ★ 可選量程:-100℃~0℃/-80℃~0℃ 

      3.測量精度:+/-3℃ 

      4.樣氣壓力:1~30psi,本傳感器可耐壓到200Bar 

      5.樣氣流量:1~5升/分鐘,建議1升/分鐘 

      6.氣路連接:1/4”或 1/8”卡套接頭 

      7.防    爆:傳感器本安防爆,增加隔離柵選件可組成防爆檢測系統(tǒng) 

      更多高純/特種氣體的概念及供氣系統(tǒng)及進(jìn)口便攜式露點儀品牌的選擇信息請致電英肖儀器儀表(上海)有限公司

      英肖儀器儀表(上海)有限公司
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